Products
製品紹介
製品群一覧
石英ガラス製品は、お客様のご要望に基づくカスタムメイドです。
ご注文にあたり、仕様、納期の詳細について、お問い合わせフォームをご利用いただくか最寄りの営業所までお問い合わせ下さい。
半導体分野
半導体製造プロセスの拡散CVD、洗浄、エッチングに至るまであらゆるプロセスに対応しています。
12インチ(300mm)以上の大型製品の製造にも対応しています。
チューブ製品
- プロセスチューブ
- アウターチューブ
- インナーチューブ
プロセス治具・エッチャー製品
- 石英ボート
- その他治具全般
- 各種チャンバー
- リング
洗浄関連製品
- オーバーフロー槽
- キャリア
- ガイド
化合物半導体分野
MO-CVDをはじめとする各プロセスに対応しています。
- チューブ型反応容器
- ボックス型反応容器
- 大型トレイ
光ファイバー分野
光ファイバー母材加工、バーナー、チャンバーなど各プロセスの石英製品に対応しています。
- 石英炉心管
- 石英多重管バーナー
- 光ファイバー母材細穴加工
- 各種石英チャンバー