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製品紹介

製品群一覧

石英ガラス製品は、お客様のご要望に基づくカスタムメイドです。
ご注文にあたり、仕様、納期の詳細について、お問い合わせフォームをご利用いただくか最寄りの営業所までお問い合わせ下さい。

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半導体分野


半導体製造プロセスの拡散CVD、洗浄、エッチングに至るまであらゆるプロセスに対応しています。
12インチ(300mm)以上の大型製品の製造にも対応しています。

プロセス治具

チューブ製品

  • プロセスチューブ
  • アウターチューブ
  • インナーチューブ

チューブ製品

プロセス治具・エッチャー製品

  • 石英ボート
  • その他治具全般
  • 各種チャンバー
  • リング

洗浄関連製品

洗浄関連製品

  • オーバーフロー槽
  • キャリア
  • ガイド

化合物半導体分野


化合物半導体分野

MO-CVDをはじめとする各プロセスに対応しています。

  • チューブ型反応容器
  • ボックス型反応容器
  • 大型トレイ

光ファイバー分野


光ファイバー分野

光ファイバー分野

光ファイバー母材加工、バーナー、チャンバーなど各プロセスの石英製品に対応しています。

  • 石英炉心管
  • 石英多重管バーナー
  • 光ファイバー母材細穴加工
  • 各種石英チャンバー